Численное моделирование влияния вращающегося магнитного поля на процесс выращивания полупроводникового кристалла методом AHP
DOI:
https://doi.org/10.7242/1999-6691/2013.6.2.20Ключевые слова:
численное моделирование, направленная кристаллизация, массоперенос, вращающееся магнитное полеАннотация
Проведено численное моделирование влияния аксиально симметричного вращающегося магнитного поля на процесс тепло- и массопереноса при выращивании полупроводникового кристалла Ga:Ge с использованием AHP – Axial Heating Process. Получены данные о структуре течения, распределении примеси в расплаве и ее сегрегации в кристалле в зависимости от температурных граничных условий и интенсивности приложенного магнитного поля. Показано, что температурные условия на погруженном нагревателе оказывают существенное влияние на массоперенос в расплаве и, как следствие, на сегрегацию примеси в выращенном кристалле. Продемонстрировано, что приложение вращающегося магнитного поля малой интенсивности способно уменьшить радиальную сегрегацию примеси в кристалле.
Скачивания
Библиографические ссылки
Lan C.W. Recent progress of crystal growth modeling and growth control // Chem. Eng. Sci. – 2004. – V. 59, N. 7. – P. 1437-1457. DOI
2. Ostrogorsky A.G. Single-crystal growth by the submerged heater method // Meas. Sci. Technol. – 1990. – V. 1, N. 5. – P. 463-464. DOI
3. Любимова Т.П., Паршакова Я.Н. Влияние вращательных вибраций на течения и тепломассообмен при выращивании кристаллов германия вертикальным методом Бриджмена // Вычисл. мех. сплош. сред. – 2008. – Т. 1, № 1. – С. 57-67. DOI
4. Lyubimova T.P., Croell A., Dold P., Khlybov O.A., Fayzrakhmanova I.S. Time-dependent magnetic field influence on GaAs crystal growth by vertical Brigdman method // J. Crys. Growth. – 2004. – V. 266, N. 1-3. – P. 404-410. DOI
5. Любимова Т.П., Файзрахманова И.С. Численное моделирование влияния магнитного поля на процесс выращивания кристаллов вертикальным методом Бриджмена // Вычисл. мех. сплош. сред. – 2008. – Т. 1, № 3. – С. 85-95. DOI
6. Dold P., Benz K.W. Rotating magnetic fields: Fluid flow and crystal growth applications // Prog. Cryst. Growth Ch. – 1999. – V. 38, N. 1-4. – P. 39-58. DOI
7. Marty Ph., Witkowski L.M., Trombetta P., Tomasino T., Garandet J.P. On the stability of rotating MHD flows // Fluid Mechanics and Its Applications. – 1999. – V. 51. – P. 327-343. DOI
8. Bourago N.G., Fedyushkin A.I. Impurity distribution in submerged heating method with and without rotation // Proc. of Int. Conf. on Computational Heat and Mass Transfer. N. Cyprus, Turkey, 1999. – P. 207-215.
9. Lan C.W., Ting C.C. Numerical investigation on the batch characteristics of liquid encapsulated vertical Bridgman crystal growth // J. Cryst. Growth. – 1995. – V 149, N. 3-4. – P. 175-186. DOI
10. Хлыбов О.А. Комбинирование символьной алгебры и генерации кода для решения сложных систем нелинейных дифференциальных уравнений // Вычисл. мех. сплош. сред. – 2008. – Т. 1, № 2. – С. 90-99. DOI
11. Lan C.W. Newton’s method for solving heat transfer, fluid flow and interface shapes in a floating molten zone // Int. J. Numer. Meth. Fl. – 1994. – V. 19, N. 1. – P. 41-65. DOI
12. Adornato P.M., Brown R.A. Convection and segregation in directional solidification of dilute and non-dilute binary alloys: Effects of ampoule and furnace design // J. Cryst. Growth. – 1987. – V. 80, N. 1. – P. 155-190. DOI
Загрузки
Опубликован
Выпуск
Раздел
Лицензия
Copyright (c) 2013 Вычислительная механика сплошных сред
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-NonCommercial» («Атрибуция — Некоммерческое использование») 4.0 Всемирная.
