Демин ВА, Демина ТВ, Коновалов ВВ, Любимова ТП. Трехмерное численное моделирование процесса переноса паров кремния в условиях среднего вакуума в задаче с цилиндрической симметрией. ВМСС [Интернет]. 31 октябрь 2026 г. [цитируется по 1 ноябрь 2026 г.];19(3):336-48. доступно на: https://journal.permsc.ru/index.php/ccm/article/view/CCMv19n3a23