Демин ВА, Демина ТВ, Коновалов ВВ, Любимова ТП. Трехмерное численное моделирование процесса переноса паров кремния в условиях среднего вакуума в задаче с цилиндрической симметрией. ВМСС. 2026;19(3):336-348. doi:10.7242/1999-6691/2026.19.3.23