Демин, В. А.; Демина, Т. В.; Коновалов, В. В.; Любимова, Т. П. Трехмерное численное моделирование процесса переноса паров кремния в условиях среднего вакуума в задаче с цилиндрической симметрией. ВМСС 2026, 19 (3), 336-348. https://doi.org/10.7242/1999-6691/2026.19.3.23.