Вахрушев АВ, Северюхин АВ, Федотов АЮ, Валеев РГ. Исследование процессов осаждения нанопленок на подложку из пористого оксида алюминия методами математического моделирования. ВМСС [Internet]. 2016 Mar. 30 [cited 2024 Nov. 27];9(1):59-72. Available from: https://journal.permsc.ru/index.php/ccm/article/view/CCMv9n1a6