Вахрушев АВ, Северюхин АВ, Федотов АЮ, Валеев РГ. Исследование процессов осаждения нанопленок на подложку из пористого оксида алюминия методами математического моделирования. ВМСС. 2016;9(1):59-72. doi:10.7242/1999-6691/2016.9.1.6