Численное моделирование влияния магнитного поля на процесс выращивания кристаллов вертикальным методом бриджмена
DOI:
https://doi.org/10.7242/1999-6691/2008.1.3.30Ключевые слова:
Аннотация
В работе исследовано влияние однородного высокочастотного осевого магнитного поля на процесс выращивания полупроводникового монокристалла. Описан алгоритм моделирования нестационарного процесса выращивания кристалла вертикальным методом Бриджмена в условиях земной гравитации. В качестве примера рассмотрен полупроводниковый материал германий, легированный галлием, выращиваемый в графитной ампуле конечной толщины, имеющей плоское дно. Распределение температуры вблизи внешней стенки ампулы задавалось тангенциальной функцией. Моделировалось влияние осевого высокочастотного магнитного поля на течение и тепло-, массоперенос в расплаве, а также на распределение примеси в выращенном кристалле. Расчеты показали, что осевое высокочастотное магнитное поле подавляет конвективные течения, прогиб фронта увеличивается с увеличением интенсивности магнитного поля, а перемешивание расплава ослабевает.
Скачивания
Библиографические ссылки
Ежовский Ю.К., Денисова О.В. Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов: / Учеб. Пособие. - СПб.: СЗТУ, 2005. - 80с.
Тарунин Е.Л. Вычислительный эксперимент в задачах свободной конвекции. - Иркутск: Изд-во Иркут. ун-та, 1990. - 228с.
Adornato P., Brown R. Convection and Segregation in Directional Solidification of Dilute and Non-Dilute Binary Alloys: Effects of Ampoule and Furnace Design // J. Crystal Growth. - 1987. - V. 80. - P. 155-190. DOI
Lan C.W., Ting C.C. Numerical Investigation on the Batch Characteristics of Liquid Encapsulated Vertical Bridgman Crystal Growth // J. Crystal Growth. - 1995. - V. 149, 1995. - P.175-186. DOI
Stelian C., Delannoy Y., Fautrelle Y., Duffar T. Solute Segregation in Directional Solidification of GalnSb Concentrated Alloys under Alternating Magnetic Field // J. Crystal Growth. - 2004. - V. 266. - P. 207-215. DOI
Kim, D.H., Adornato, P.M., Brown, R.A. Effect of Vertical Magnetic Field on Convection and Segregation in Vertical Bridgman Crystal Growth // J. Crystal Growth. - 1988. - V. 89. - P. 339-356. DOI
Загрузки
Опубликован
Выпуск
Раздел
Лицензия
Copyright (c) 2008 Вычислительная механика сплошных сред
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-NonCommercial» («Атрибуция — Некоммерческое использование») 4.0 Всемирная.
